下载液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的技术资料

文档序号:39574219

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本发明提供一种能够在振动板的腕部处维持振动板的可靠性且抑制振动效率的降低的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。振动板包括:第一层,其包含硅以作为构成元素;第二层,其包含锆以外的金属元素以作为构成元素;第三层,其包含锆以作为构成元素,在将振...
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