液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在振动板的腕部处维持振动板的可靠性且抑制振动效率的降低的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。振动板包括：第一层，其包含硅以作为构成元素；第二层，其包含锆以外的金属元素以作为构成元素；第三层，其包含锆以作为构成元素，在将振动板中的在沿第一方向观察时与压力室重叠且与第一电极、压电体层以及第二电极重叠的区域设为有源区域，将振动板中的在沿第一方向观察时与压力室重叠且与第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的区域设为无源区域时，振动板在有源区域中具有第一层、第二层和第三层，在无源区域的至少一部分中具有第一层和第二层且不具有第三层。有第三层。有第三层。

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件


[0001]本专利技术涉及一种液体喷射头及液体喷射装置、以及压电器件，所述液体喷射头具有包括第一电极、压电体层和第二电极的压电元件、通过压电元件的驱动而振动的振动板、和划分通过振动板的振动而对液体施加压力的压力室的压力室基板，所述压电器件具有压电元件和振动板。

技术介绍

[0002]作为电子器件之一的液体喷射头，已知一种喷墨式记录头。喷墨式记录头具备：压力室基板，其设置有与喷嘴连通的压力室；振动板，其被设置在压力室基板的一面侧；压电元件，其被设置在振动板上，该喷墨式记录头中，通过压电元件的驱动而使压力室内的油墨发生压力变化从而使油墨滴从喷嘴喷射。
[0003]在此，作为振动板的结构而有各种各样的结构，例如，有包括作为构成元素而包含硅的弹性膜、和作为构成元素而包含锆的绝缘膜的结构。例如，振动板通过由氧化硅(SiO2)形成的第一振动层(弹性膜)和由氧化锆(ZrO2)形成的第二振动层(绝缘膜)的层叠而构成(参照专利文献1)。
[0004]另外，在该专利文献1中，公开了将第二振动层的第二部分去除了的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体喷射头，其特征在于，具有：压电元件，其包括在第一方向上进行了层叠的第一电极、压电体层和第二电极；振动板，其通过所述压电元件的驱动而振动；压力室基板，其划分出通过所述振动板的振动而对液体施加压力的压力室，所述压力室基板、所述振动板以及所述压电元件在所述第一方向上依次层叠，所述振动板包括：第一层，其包含硅以作为构成元素；第二层，其被配置在所述第一层与所述压电体层之间，且包含锆以外的金属元素以作为构成元素；第三层，其被配置在所述第二层与所述压电体层之间，且包含锆以作为构成元素，在将所述振动板中的在沿所述第一方向进行观察时与所述压力室重叠并且与所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重叠的区域设为有源区域，并且将所述振动板中的在沿所述第一方向进行观察时与所述压力室重叠并且与所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极不重叠的区域设为无源区域时，所述振动板在所述有源区域中，具有所述第一层、所述第二层和所述第三层，并且在所述无源区域的至少一部分中，具有所述第一层和所述第二层，并且不具有所述第三层。2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述第二层在所述有源区域与所述无源区域之间连续地形成。3.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述第二层的材料的杨氏模量高于所述第一层的材料的杨氏模量。4.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，所述第二层包含钛、铝、铬、钽中的任意的金属元素以作为构成元素。5.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其特征在于，所述第二层包含与锆相比难以被氧化的金属元素以作为构成元素。6.如权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，在所述无源区域的至少一部分中，所述振动板的所述第二层与所述第一电极或者所述第二电极中的一方的电极相邻地层叠。7.如权利要求6所述的液体喷射头，其特征在于，与所述振动板的所述第二层相邻地层叠的所述一方的电极的构成元素包含在所述第二层中所包含的所述金属元素。8.如权利要求7所述的液体喷射头，其特征在于，与所述振动板的所述第二层相邻地层叠的所述一方的电极包含所述金属元素的单体，所述第二层包含所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：古池晴信，青木崇，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：