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本发明提出了一种用于调节等离子体均匀性的可变控制板及调节方法，可变控制板包括：至少两层网格板，均为一金属圆板，相邻网格板之间通过同一根转轴转动连接，其中一层网格板与其余层网格板之间可相对转动，以控制调节开口和金属孔的开合大小；若干调节开口，...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

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