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本发明提供一种研磨装置、研磨方法及非易失性的存储介质，其目的之一是，在研磨装置中，当将基板从基板保持部件释放时抑制基板的干燥。研磨装置具备：研磨台、基板保持部件、压力调节器、一个或多个释放喷嘴以及控制装置，该控制装置执行基板释放处理，基板释...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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