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本实用新型公开了一种基于数字叠栅条纹的光刻对准系统，包括接收不同轴向设置的曝光光源和对准光源的第一分束器；数字微反射镜接收经第一分束器反射的对准光源，对准光源依次通过第一透镜和第二分束器，将数字微反射镜中生成的数字光栅投影至硅片平面上，数字...
该专利属于西华大学所有，仅供学习研究参考，未经过西华大学授权不得商用。

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