温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，所述探针台操作平台上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；所述探针台操作平台中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置有卡盘；所述氟化液防打火装置包括...
该专利属于和创联合科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和创联合科技（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。