一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，所述探针台操作平台上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；所述探针台操作平台中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置有卡盘；所述氟化液防打火装置包括针尖，所述针尖上通过连接管连接着输液泵的出口端，输液泵的进口端通过连接管与氟化液容器连接，所述夹持机构包括针座

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置


[0001]本技术属于高压功率器件测试
，具体涉及一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置
。

技术介绍

[0002]高电压下功率器件测试时易出现打火现象，一是因为垂直器件芯片表面强电场导致空气电离，这种情况主要发生在芯片之间或划片道内；还有水平器件
wafer
表面的沿面放电，常见于芯片内部或高压探针附近
。
[0003]目前现有市场上氟化液防打火装置利用槽体将整个晶圆浸入到液体中来完成高电压下功率器件测试时的防打火功能，该方法在
Fab
中操作不便，一是由于氟化液挥本身具有较强挥发性，且其环境无密闭空间，出现不必要浪费，经济性较差，其次是槽体内液体过多，自动探针台大范围移动时会出现漏液现象，处理较为麻烦
。
[0004]鉴于上述因素特别设计一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，利用设备调控氟化液流速来实现自动滴液原理，一滴氟化液覆盖一个晶粒上的接点
(pad)
，实现防打火自动测试
。
使测量更为便捷，方式更加简单
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]本技术的目的是通过下述技术方案予以实现：一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，包括探针台操作平台，所述探针台操作平台上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；
[0007]所述探针台操作平台中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置有卡盘；
[0008]所述氟化液防打火装置包括针尖，所述针尖上通过连接管连接着输液泵的出口端，输液泵的进口端通过连接管与氟化液容器连接
。
[0009]进一步地，所述夹持机构包括针座
、
延长臂
、
连接轴
、
夹持板，针座上设置有延长臂，所述延长臂向扎针区域延伸，所述延长臂的前端连接着所述连接轴，所述连接轴的另一端与夹持板连接，所述夹持板上固定夹持针尖
。
[0010]进一步地，所述夹持机构以磁吸附方式设置在所述上
。
[0011]进一步地，所述卡盘为真空吸盘
。
[0012]进一步地，所述晶圆固定区上固定设置有晶圆
,
所述针尖与所述晶圆上方的扎针区域相对倾斜设置
。
[0013]进一步地，所述氟化液防打火装置上通过连接线连接着
PC
端
。
[0014]进一步地，所述氟化液防打火装置上的输液泵通过连接线连接着
PC
端
。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]本技术能有效的防止高电压下测试时出现的打火现象，测试时氟化液只覆盖
晶圆上的测试点
(pad)
区域，氟化液使用量减少，氟化液外置单向流通性容器，能有效的减少液体在空气中挥发；整体结构更方便的安装方式，三方向
(X、Y、Z)
可调
。
[0017]本技术通过氟化液流速来实现自动滴液原理，一滴氟化液覆盖一个晶粒上的接点
(pad)
，实现防打火自动测试
。
使测量更为便捷，方式更加简单
。
附图说明
[0018]图1是本技术整体示意图
。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0022]如图1所示，一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，包括探针台操作平台8，所述探针台操作平台8上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；
[0023]所述探针台操作平台8中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置于卡盘7，所述卡盘为真空吸盘；
[0024]所述卡盘7采用真空吸附的方式来固定晶圆
。
其中，真空吸附的方式能够使晶圆受力均匀，不容易损伤晶圆，且真空吸附对环境的要求低
。
[0025]所述氟化液防打火装置包括针尖5，所述针尖5上通过连接管连接着输液泵的出口端，输液泵的进口端通过连接管与氟化液容器连接
。
所述夹持机构包括针座
1、
延长臂
2、
连接轴
3、
夹持板4，针座1上设置有延长臂2，所述延长臂2向扎针区域延伸，所述延长臂2的前端连接着所述连接轴3，所述连接轴3的另一端与夹持板4连接，所述夹持板4上固定夹持针尖5，所述夹持机构以磁吸附方式设置在所述8上
。
[0026]所述夹持板为梯形槽结构，在所述夹持板的倾斜面上开有用于固定所述针尖5的通孔，所述针尖5通过螺栓固定于夹持板上；
[0027]所述延长臂
2、
连接轴
3、
夹持板4之间螺栓连接为一体结构，且通过延长臂2与针座1螺栓连接；
[0028]所述连接轴3采用长轴设计，在使用状态下避免干涉
。
[0029]所述针座1为标准件，通过所述针座1实现
X、Y、Z
方向的调节，在使用状态下灵活操
作
。
[0030]本技术的氟化液防打火装置通过
PC
端软件程序控制输液泵，把氟化液由容器中输送到扎针区域上方的针尖，液体流速可在
PC
端通过软件模块调控，再通过夹持机构固定滴液针尖，在扎针时自动滴上氟化液，以此来实现防打火功能
。
[0031]输液泵原理就是对泵的弹性输送软本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，包括探针台操作平台
(8)
，其特征在于：所述探针台操作平台
(8)
上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；所述探针台操作平台
(8)
中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置有卡盘
(7)
；所述氟化液防打火装置包括针尖
(5)
，所述针尖
(5)
上通过连接管连接着输液泵的出口端，输液泵的进口端通过连接管与氟化液容器连接
。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，其特征在于：所述夹持机构包括针座
(1)、
延长臂
(2)、
连接轴
(3)、
夹持板
(4)
，针座
(1)
上设置有延长臂
(2)
，所述延长臂
(2)
向扎针区域延伸，所述延长臂
(2)
的前端连接着所述连接轴
(3)
，所述连接轴
(3)

【专利技术属性】
技术研发人员：潘庆彬，
申请(专利权)人：和创联合科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：