一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，所述探针台操作平台上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；所述探针台操作平台中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置有卡盘；所述氟化液防打火装置包括针尖，所述针尖上通过连接管连接着输液泵的出口端，输液泵的进口端通过连接管与氟化液容器连接，所述夹持机构包括针座

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置


[0001]本技术属于高压功率器件测试
，具体涉及一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置
。

技术介绍

[0002]高电压下功率器件测试时易出现打火现象，一是因为垂直器件芯片表面强电场导致空气电离，这种情况主要发生在芯片之间或划片道内；还有水平器件
wafer
表面的沿面放电，常见于芯片内部或高压探针附近
。
[0003]目前现有市场上氟化液防打火装置利用槽体将整个晶圆浸入到液体中来完成高电压下功率器件测试时的防打火功能，该方法在
Fab
中操作不便，一是由于氟化液挥本身具有较强挥发性，且其环境无密闭空间，出现不必要浪费，经济性较差，其次是槽体内液体过多，自动探针台大范围移动时会出现漏液现象，处理较为麻烦
。
[0004]鉴于上述因素特别设计一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，利用设备调控氟化液流速来实现自动滴液原理，一滴氟化液覆盖一个晶粒上的接点
(pad)
，实现防打火自动测试
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，包括探针台操作平台
(8)
，其特征在于：所述探针台操作平台
(8)
上以可拆卸方式连接着夹持机构，所述夹持机构上安装有氟化液防打火装置；所述探针台操作平台
(8)
中心位置为晶圆固定区，所述晶圆固定区内设置有卡盘
(7)
；所述氟化液防打火装置包括针尖
(5)
，所述针尖
(5)
上通过连接管连接着输液泵的出口端，输液泵的进口端通过连接管与氟化液容器连接
。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆高压功率器件测试时的自动化防打火装置，其特征在于：所述夹持机构包括针座
(1)、
延长臂
(2)、
连接轴
(3)、
夹持板
(4)
，针座
(1)
上设置有延长臂
(2)
，所述延长臂
(2)
向扎针区域延伸，所述延长臂
(2)
的前端连接着所述连接轴
(3)
，所述连接轴
(3)

【专利技术属性】
技术研发人员：潘庆彬，
申请(专利权)人：和创联合科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：