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本实用新型提供了一种芯片烘干装置,包括烘干箱和夹具机构,所述夹具机构上可夹持固定有多个芯片;所述烘干箱内对应设有可滑动抽出的放置板,所述放置板的一侧对应设有封板,所述放置板的中部对应设置矩形孔,所述夹具机构可对应放置于放置板上;所述烘干箱内...该专利属于苏州烯晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州烯晶半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种芯片烘干装置,包括烘干箱和夹具机构,所述夹具机构上可夹持固定有多个芯片;所述烘干箱内对应设有可滑动抽出的放置板,所述放置板的一侧对应设有封板,所述放置板的中部对应设置矩形孔,所述夹具机构可对应放置于放置板上;所述烘干箱内...