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一种衬底处理装置，包括：清洗设备，用于清洗衬底；以及干燥设备，用于使用超临界气体对由清洗设备清洗后的衬底进行干燥，其中，清洗设备包括硫酸清洗室。设备包括硫酸清洗室。设备包括硫酸清洗室。
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