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一种等离子体刻蚀位于腔室中的一定类型的一般平面工件中的长的特征的方法。该方法包括：在腔室中刻蚀处于平的配置的测试工件；确定特征的纵向部分相对于正交地穿过工件的轴的各自的角度；以及确定为了至少在工件的中心部分上将所述角度基本上减小到０°所需的...
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