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根据本发明的用于预对准样本以通过宽离子束(BIB)系统更有效地处理多个样本的系统和方法包括：将样本固定到样本保持器的可调整部分；将该样本保持器与具有第一掩模边缘的第一掩模嵌套，其中该第一掩模定位在BIB系统外部；以及对准该样本以使得其与该第...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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