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本发明公开了用于在样本制备工作流程中操作组合激光和宽离子束(BIB)抛光器的系统和方法。根据本发明的用于操作组合激光和宽离子束(BIB)抛光器的示例性方法包括：将样本定位在该组合BIB和激光样本制备系统的该内部体积内，致使该组合BIB和激光...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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