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一种太阳能硅片的表面清洗方法技术
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下载一种太阳能硅片的表面清洗方法的技术资料
文档序号:3951081
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本发明涉及一种太阳能硅片的表面清洗方法,该方法在晶棒切成太阳能硅片并经脱胶后,先在浓度为1~3%的氢氟酸溶液中浸泡,接着采用纯水漂洗,接着放在浓度为1~3%的柠檬酸溶液中并导入纯净压缩空气边鼓泡边浸泡,然后又采用纯水漂洗,之后又在浓度为1~...
该专利属于浙江矽盛电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江矽盛电子有限公司授权不得商用。
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