下载一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构的技术资料

文档序号:39499329

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本发明公开了一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,所述加工台上设置有用于铜线键合加工的键合腔;所述储气腔设置在所述键合腔的台面上,所述储气腔上设置有吹气管,通过所述吹气管对铜线键合过程中进行吹气保护;所述导向架上设置有多维度吹气机构,所...
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