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本发明的载置板，具备：主体部，其形成有用于使进行热交换的介质流通的流路，并载置工件，主体部使用金属材料来形成，并具有设置于该主体部的外缘侧的加热器，在驱动加热器并使介质流通于流路的状态下，该主体部的工件载置面的外缘侧与内部侧的温差为
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