载置板及载置构造制造技术

本发明专利技术的载置板，具备：主体部，其形成有用于使进行热交换的介质流通的流路，并载置工件，主体部使用金属材料来形成，并具有设置于该主体部的外缘侧的加热器，在驱动加热器并使介质流通于流路的状态下，该主体部的工件载置面的外缘侧与内部侧的温差为

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】载置板及载置构造


[0001]本专利技术涉及一种载置工件的载置板及载置构造
。

技术介绍

[0002]一直以来，在制造应用于产业用及汽车用等的半导体的半导体制造装置
、
以及用于制造液晶显示器的液晶制造装置中，为了使晶圆等工件的温度分布均匀化，用于保持工件的载置板具有加热功能
(
例如，参照专利文献
1)。
专利文献1公开了在内周侧和外周侧均设置有加热元件的陶瓷板
。
一直以来，从加热器配置的自由度
、
污染性
、
耐热性等观点来看，通常使用陶瓷
。
通过分别控制该陶瓷板的内周侧的加热元件和外周侧的加热元件，使外周侧的温度和内周侧的温度彼此不同，能够使该陶瓷板变成例如具有温度随着朝外周侧变高的温度梯度曲线的载置板
。
专利文献1中记载的陶瓷板能够设定温度梯度，以使外周侧与内周侧之间的温差成为
10℃
左右
。
[0003]专利文献1：国际公开第
2018/030433...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种载置板，其特征在于，具备：主体部，其形成有用于使进行热交换的介质流通的流路，并载置工件，所述主体部使用金属材料来形成，并具有设置于该主体部的外缘侧的加热器，在驱动所述加热器并使所述介质流通于所述流路的状态下，该主体部的所述工件载置面的外缘侧与内部侧的温差为
20℃
以上
。2.
根据权利要求1所述的载置板，其特征在于：在所述主体部形成有包围所述流路的绝热槽
。3.
根据权利要求2所述的载置板，其特征在于：相较于所述绝热槽，所述加热器设置于所述主体部的外缘侧
。4.
根据权利要求2或3所述的载置板，其特征在于：相较于所述绝热槽，所述加热器设置于所述主体部的内部侧

【专利技术属性】
技术研发人员：木田直哉，二口谷淳，藤野大辅，相川尚哉，和田惠子，中岛文，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：