下载激光加工装置和评价方法的技术资料

文档序号:39492746

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本发明涉及激光加工装置和评价方法。激光加工装置包括:振荡器,该振荡器使激光振荡;镜,其中在作为激光的一部分的第一激光被透射通过镜的同时,作为激光的另一部分的第二激光被反射,以用第二激光照射加工对象部分,并且作为第二激光由加工对象部分反射的反...
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