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本实用新型属于半导体生产技术领域，公开了热炉管及热炉。该热炉管一侧设置有进气结构，进气结构包括进气段、出气段和缓冲段，缓冲段设置于进气段与出气段之间，部分进气段、缓冲段和出气段均设置于热炉管的内腔中，另一部分进气段位于热炉管的外部，用于连接...
该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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