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本发明涉及一种液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法，属于半导体器件生产技术领域。为解决得到足够细的超声雾化液体颗粒的同时保证足够的雾化流量，所述喷涂装置包括：雾化容器；超声波振荡器，用于进行超声雾化操作；液体材料输入装置，用于通入液体原料；载...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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