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电荷俘获非挥发半导体存储器及其制造方法技术
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文档序号:3946054
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本发明提供一种电荷俘获非挥发半导体存储器及其制造方法。所述电荷俘获非挥发半导体存储器包括半导体衬底、源极区域、漏极区域、依次形成在所述半导体衬底上的隧道绝缘层、电荷俘获层、阻挡绝缘层和栅电极。所述漏极区域及源极区域均包括混合的半导体结,所述...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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