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本实用新型属于氮化硅陶瓷基板加工技术领域,具体涉及一种氮化硅陶瓷基板切割装置,包括基座、升降机构、平移机构和切割头,所述升降机构安装在基座上,且升降机构的输出端朝向基座设置,所述平移机构安装在升降机构的输出端上,所述切割头安装在平移机构的驱...该专利属于福建华清电子材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建华清电子材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于氮化硅陶瓷基板加工技术领域,具体涉及一种氮化硅陶瓷基板切割装置,包括基座、升降机构、平移机构和切割头,所述升降机构安装在基座上,且升降机构的输出端朝向基座设置,所述平移机构安装在升降机构的输出端上,所述切割头安装在平移机构的驱...