下载一种氮化硅陶瓷基板切割装置的技术资料

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本实用新型属于氮化硅陶瓷基板加工技术领域,具体涉及一种氮化硅陶瓷基板切割装置,包括基座、升降机构、平移机构和切割头,所述升降机构安装在基座上,且升降机构的输出端朝向基座设置,所述平移机构安装在升降机构的输出端上,所述切割头安装在平移机构的驱...
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