温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种硅片吸附机构、换向机构及收片装置,硅片吸附机构包括至少两条平行设置的输送带以及至少两个与输送带一一对应的吸附单元,吸附单元沿输送带的输送方向延伸设置,每个吸附单元均包括基座和导流件,基座靠近对应的输送带安装且至少用于支撑...该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种硅片吸附机构、换向机构及收片装置,硅片吸附机构包括至少两条平行设置的输送带以及至少两个与输送带一一对应的吸附单元,吸附单元沿输送带的输送方向延伸设置,每个吸附单元均包括基座和导流件,基座靠近对应的输送带安装且至少用于支撑...