下载一种单晶炉用的多层隔热降氧结构及装置的技术资料

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本实用新型公开了一种单晶炉用的多层隔热降氧结构及装置,涉及单晶硅制造技术领域,至少可以部分解决现有技术中单层隔热降氧结构的隔热降氧效果不佳的问题。本实用新型实施例的一种单晶炉用的多层隔热降氧结构,包括同轴设置且固定连接的底层圆弧支撑板和底层...
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