温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种半导体夹具，涉及半导体夹具技术领域。本实用新型包括载具和多个夹板，载具顶端均匀开设有多个晶圆槽，且多个晶圆槽内部均放置有晶圆本体，多个夹板均匀滑动于多个晶圆槽内部，且夹板一侧均匀设置有两个挤压弹簧，挤压弹簧一端固定于晶圆...
该专利属于张婷婷所有，仅供学习研究参考，未经过张婷婷授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。