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一种离线测量成像系统最佳物面的装置和方法，该装置包括光源模块，该模块能发出多个不同波长的激光；光耦合装置，耦合光源模块发出的激光，形成照明光斑；针孔掩模，其上具有ｍ×ｎ小孔阵列，接收光耦合装置形成的照明光斑；投影物镜，对针孔掩模进行成像，投...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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