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本申请提供一种具有下沉腔体的真空镀膜设备，包括主腔体和下沉腔体，主腔体和下沉腔体相互配合，蒸发的气体依次经过主腔体和下沉腔体，以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，所述...
该专利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州佑伦真空设备科技有限公司授权不得商用。

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