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混合1～3摩尔的由下面的化学式1或下面的化学式2表示的化合物和1～3摩尔的由下面的化学式3表示的化合物来形成的铝前驱体的制造方法，<化学式1>X是O或S，R1或R2各自独立地从具有1～8个碳原子的烷基、具有3～6...
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