下载一种常关型P型氮化镓器件及其制作方法的技术资料

文档序号:39435861

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本申请公开了一种常关型P型氮化镓器件及其制作方法。方法包括:提供一氮化镓器件半成品;在GaN沟道层上依次形成第一ALGaN势垒层以及第一钝化层;通过湿法腐蚀部分去除第一钝化层,形成待生长区;在待生长区以外的区域形成第二ALGaN势垒层;通过...
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