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本发明涉及基板输送技术领域，具体涉及基板输送设备、使用该设备的等离子清洗系统及方法；本发明提供了基板输送设备，储料箱可升降的设置在工作台上；推动上料组件适于推动基板向压紧清理部方向移动；压紧清理部适于驱动基板向承载输送组件方向移动；承载输送...
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