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图像测量设备和触摸探测器制造技术
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文档序号:39426309
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本发明涉及一种图像测量设备和触摸探测器。通过使得在触摸探测器的接触时难以引起工件的横向滑动来抑制测量精度的下降。触摸探测器包括:外壳;探测器轴,其设置在外壳的内部;触针,其可拆卸地附接到探测器轴,并且具有使得与工件接触的接触部;第一弹性构件...
该专利属于株式会社基恩士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社基恩士授权不得商用。
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