图像测量设备和触摸探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种图像测量设备和触摸探测器。通过使得在触摸探测器的接触时难以引起工件的横向滑动来抑制测量精度的下降。触摸探测器包括：外壳；探测器轴，其设置在外壳的内部；触针，其可拆卸地附接到探测器轴，并且具有使得与工件接触的接触部；第一弹性构件，其连接到外壳和探测器轴，并且形成探测器轴的偏转支点；第二弹性构件，其在轴线上远离第一弹性构件的部分处连接到外壳和探测器轴，并且使探测器轴返回到原点；以及位移检测机构，用于以非接触方式在探测器轴的基端侧检测探测器轴在三维方向上的位移。三维方向上的位移。三维方向上的位移。

【技术实现步骤摘要】
图像测量设备和触摸探测器


[0001]本专利技术涉及用于显示工件图像并使用触摸探测器来测量工件的三维坐标的图像测量设备、以及触摸探测器。

技术介绍

[0002]传统上，作为用于测量工件的表面形状和尺寸的三维测量设备，已知有如下的三维测量设备，该三维测量设备被配置为使触摸探测器与工件的表面接触，指定接触时的坐标值，并且基于所指定的坐标值来计算工件的表面形状和尺寸。
[0003]通常，在使用触摸探测器的三维测量设备中，在由于在使触摸探测器接触时产生的力而导致工件在台架上横向地滑动的情况下，发生测量误差，因而经常用夹具(jig)等来固定工件。另一方面，存在期望将工件放置在例如玻璃台架上的情况，并且在这种情况下有时难以将工件充分固定到台架。在这种情况下，需要即使在低接触压力下也能够检测到与工件的接触的低压触摸探测器。
[0004]作为低压触摸探测器，已知有例如如JP 2002
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22433A中所公开的用于检测随着触针的位移而发生弹性变形的应变计的变形量的触摸探测器。
[0005]然而，在JP 2002
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像测量设备，包括：台架，用于放置工件；光投射部，用于用检测光照射所述台架上的工件；摄像部，用于接收所述检测光并生成工件图像；图像测量部，用于使用所述摄像部所生成的工件图像来测量所述工件的尺寸；触摸探测器，用于在所述触摸探测器与所述台架上的工件接触时，输出接触信号；驱动部，用于使所述台架和所述触摸探测器中的至少一个相对于另一个移动，以使所述触摸探测器与所述台架上所放置的工件接触；以及坐标测量部，用于基于在通过所述驱动部使所述触摸探测器与所述工件接触时输出的接触信号，来测量所述触摸探测器与所述工件接触的接触点的三维坐标，所述图像测量设备基于所述图像测量部和所述坐标测量部至少之一的测量结果来测量所述工件的尺寸，其中，所述触摸探测器包括：外壳；探测器轴，其具有杆形状并且设置在所述外壳的内部；触针，其能够拆卸地附接到所述探测器轴的末端部，并且具有使得与所述工件接触的接触部；第一弹性构件，其连接到所述外壳和所述探测器轴，并且形成所述探测器轴的偏转支点；第二弹性构件，其在轴向上远离所述第一弹性构件的部分处连接到所述外壳和所述探测器轴，并且使所述探测器轴返回到原点；以及位移检测机构，用于以非接触方式在所述探测器轴的基端侧检测所述探测器轴的三维位移。2.根据权利要求1所述的图像测量设备，其中，所述第一弹性构件与所述第二弹性构件相比，被设置为具有抵抗所述探测器轴在径向方向上的位移的更强抑制力。3.根据权利要求1所述的图像测量设备，其中，所述第二弹性构件与所述第一弹性构件相比，被设置为具有用于使所述探测器轴朝向所述原点偏置的更强偏置力。4.根据权利要求1所述的图像测量设备，其中，所述位移检测机构是磁传感器。5.根据权利要求1所述的图像测量设备，其中，所述位移检测机构包括：第一位移检测机构，用于检测在沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏原光宏，森本雄太，花冈洋祐，
申请(专利权)人：株式会社基恩士，
类型：发明
国别省市：