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本申请公开了一种检测碳化硅晶棒内部多型的方法，属于碳化硅检测技术领域，包括以下步骤：
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该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。

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