下载调节器和半导体加工设备的技术资料

文档序号:39414704

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本发明公开了一种调节器,包括主体和阀板;主体设有用于输送等离子体的传输通道;阀板能活动地安装于主体,并且阀板位于传输通道内;阀板用于在活动过程中调节传输通道的敞开面积。上述调节器中,主体的传输通道内设有阀板,阀板在活动过程中能调节传输通道的...
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