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本发明属于团簇离子源及团簇离子束技术领域，公开了一种增强气体团簇离子束溅射固态靶原子产额的方法，确定尺寸的Ar气体团簇离子束和纳米Si粉体压铸靶，Ar气体团簇离子束轰击到纳米Si粉体压铸靶上，溅射产生的部分Si纳米颗粒被收集器所俘获。本发明...
该专利属于珠海鑫泽瑞科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海鑫泽瑞科技有限公司授权不得商用。

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