温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种衬底处理装置以及衬底处理方法。本发明的衬底处理设备包括：衬底处理单元，所述衬底处理单元用于通过向衬底排放化学液体来处理所述衬底；化学品存储单元，所述化学品存储单元通过化学液体供应管线和化学液体回收管线连接到所述衬底处理单元；和...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。