温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种膜片加工夹具，包括夹具块，所述夹具块设有用于承载膜片的承载部和用于对所述承载部进行抽真空操作以使得所述膜片贴附所述承载部的抽真空通道。本发明可以在不导致膜片变形的情况下很好地固定住膜片，进而可以对膜片进行高精度的机加工操作。而...
该专利属于常州瑞择微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州瑞择微电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。