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本发明涉及半导体制造技术领域，特别是一种基板固定装置，包括驱动装置和基板载具，所述基板载具安装在驱动装置的上部并由其驱动转动，所述驱动装置和基板载具的中心设有流体通道，基板载具上设有与流体通道连通的通孔，所述基板载具上部的边缘处设有边缘支撑...
该专利属于浙江洁芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江洁芯微电子设备有限公司授权不得商用。

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