下载一种高出光效率GaN基发光二极管的制备方法的技术资料

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一种高出光效率GaN基发光二极管的制备方法,涉及一种发光二极管。制备LED的掩膜版,形成粗化的侧面;将光刻后的外延片从P型表面到N型GaN面刻蚀,刻蚀出台面结构,形成与台面高度相同的粗化结构,形成粗化的侧面;在具有台面结构的GaN基LED外...
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