下载一种扩散装置的技术资料

文档序号:39389753

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本实用新型涉及电池片扩散领域,特别涉及一种扩散装置,包括扩散炉体和进气装置,所述扩散炉体内设有炉腔,所述进气装置包括进气机构和供气机构;所述进气机构包括若干组进气组,所述进气组包括至少两条进气管,所述进气管和供气机构连接,所述进气管伸入炉腔...
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