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本实用新型提供了一种设备前端模块，包括：输送室，具有腔室；和压力调节机构，与所述输送室连接，所述压力调节机构包括层叠设置的第一板件与第二板件，所述第一板件和所述第二板件上均设置有一个或多个排气孔，所述第一板件配置成可以在开启位置与闭合位置之...
该专利属于北京和崎精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京和崎精密科技有限公司授权不得商用。

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