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一种用于单晶硅炉的提升装置制造方法及图纸
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下载一种用于单晶硅炉的提升装置的技术资料
文档序号:39380407
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本实用新型属于单晶硅炉技术领域,涉及一种用于单晶硅炉的提升装置,包括安装板,所述安装板上设有伺服电机及竖板,所述伺服电机的输出轴设有联轴器及减速机,所述减速机的输出轴设有高刚性一体式模组,所述所述高刚性一体式模组安装在竖板上,所述高刚性一体...
该专利属于中村精机(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中村精机(无锡)有限公司授权不得商用。
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