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一种基于马赫－曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感，包括：一激光器；一Ｙ型波导，该Ｙ型波导的一端为入射波导，入射波导的一端有一第一正锥，该Ｙ型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接；该Ｙ型波导的另两...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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