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本实用新型实施例公开了一种晶片寻边装置及光刻系统，该晶片寻边装置包括寻边模块和装载模块；装载模块包括载台，用于承载晶片；寻边模块包括第一寻边单元，第一寻边单元包括第一传感器，第一传感器靠近载台的一端；第一传感器包括发射子单元和接收子单元，发...
该专利属于上海探跃半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海探跃半导体设备有限公司授权不得商用。

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