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本实用新型提供了一种连杆式单臂双手指真空机械手及真空腔室，其中真空机械手包括：驱动机构和连杆机构，所述连杆机构包括：第一连杆单元和第二连杆单元以及连接两者的手臂横向杆，所述手臂横向杆具有两个伸出部，分别连接有第一手指和第二手指，所述第一手指...
该专利属于乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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