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本实用新型提供一种光刻平台及光刻设备，包括底座与平台组件，所述底座表面沿第一方向布设有多个导轨，多个所述第一导轨设置在所述底座的不同高度的位置处，所述平台组件对接安装于所述第一导轨，并能够沿着所述第一导轨的布设方向滑动；通过将导轨设置在底座...
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