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本实用新型涉及氧化镓衬底生产技术领域，公开了一种用于低表面粗糙度氧化镓衬底生产的研磨装置，第一传动轴B的轴杆端套设有第一研磨辊，且第一研磨筒的筒壁设置有与第一研磨辊相错开的第一研磨壁，第二传动轴的轴杆端套设有第二研磨辊，且第二研磨筒的筒壁设...
该专利属于青岛芯康半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛芯康半导体科技有限公司授权不得商用。

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