温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

描述了一种用于多维结构的等离子体表面改性和高质量镀膜沉积的径向磁控管系统。该系统包括轴向电极、设置在轴向电极的一部分上的靶材材料、来自外部电源的被施加电势、以及附接到轴向电极以用于被施加电势的大电流触点。该系统还包括主永磁体组件和磁体基板，...
该专利属于星火工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过星火工业有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。