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抛光设备及抛光方法技术
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文档序号:39332854
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本申请涉及一种抛光设备及抛光方法。抛光设备包括抛光治具和粘接剂,抛光治具设有用于至少部分容纳待抛光工件的容纳槽,粘接剂设于容纳槽内,粘接剂包括连接于容纳槽的底壁和待抛光工件的底面之间的第一部分,以及连接于容纳槽的侧壁和待抛光工件的侧面之间的...
该专利属于业泓科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过业泓科技股份有限公司授权不得商用。
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