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本发明提供了一种晶圆承载座及其使用方法，其中晶圆承载座设置于载台上，包括承载座主体、扣合组件、夹爪组件、支撑导引组件以及吸盘组件。该承载座主体包括承载上盖以及承载下座。该扣合组件设置于该载台上，包括扣合件及扣合动力源。该夹爪组件设置于该载台...
该专利属于台湾富创得工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾富创得工程股份有限公司授权不得商用。

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