下载一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:39326158

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本申请涉及粉末冶金材料的技术领域,具体公开了一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用。本申请公开的CrAlCu复合靶材为双层结构,以CrAlCu合金靶材为靶材上层,以Al背板为靶材底层;所述CrAlCu合金靶材按原子百分比由以下成分组成:...
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