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本申请涉及粉末冶金材料的技术领域,具体公开了一种CrAlCu复合靶材及其制备方法和应用。本申请公开的CrAlCu复合靶材为双层结构,以CrAlCu合金靶材为靶材上层,以Al背板为靶材底层;所述CrAlCu合金靶材按原子百分比由以下成分组成:...该专利属于北京安泰六九新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京安泰六九新材料科技有限公司授权不得商用。
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